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隨著肥西基地正式投入使用，貝意克進入了肥西.安巢“兩翼齊飛”的全新發展階段。企業的生產研發能力將得以全面提升，為提升企業核心競爭力，實現企業高質量發展打下了堅實的基礎！
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一、設備特點
前端預熱法硫化鉬制備CVD設備由預熱爐、三溫區管式爐、低真空機組和供氣系統組成。
前端配有可加熱到500℃的預加熱器，輔助硫粉蒸發，后端為三溫區硫化爐，溫度控制精確，操作簡便。同時搭配三路質量流量計系統，可以精確控制實驗所需的氣體流量，低真空機組可以滿足抽真空的需求。
二、技術參數
| 系統熱場Φ80mm |
主要特點： 1、可通氣氛抽真空，其開啟式結構使得拆裝爐管方便，操作簡捷，使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過程； 2、根據管徑不同，法蘭分為卡箍和折頁兩種密封方式，安裝拆卸簡便快捷，減去了取放料時的繁瑣操作 3、爐管工件橫穿與上下各6組進口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內外溫差可控制在3度左右； 4、體積小，性價比高。 該設備廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。 5、法蘭進氣端裝有兩個進氣口和截止閥。
前端預熱設備指標： 前端預熱器在二硫化鉬實驗中，可對硫，磷等固態源進行加熱蒸發。 型號：BTF-500C 工作溫度：500℃ 最高溫度：800℃ 最快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲
反應腔體指標： 額定功率：7KW 額定電壓：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 最高溫度：1200℃ 持續工作溫度≤1100℃ 推薦升溫速率：15℃/min |
| 系統熱場 Φ80mm |
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| 供氣系統（3路） |
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| 低真空機組 |
設備特點： VAU-02是一套低真空機組，內部安裝機械泵1臺，復合真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。
技術參數： 1、技術參數： 空氣相對濕度≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：10m3/h 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉速：1450rpm 噪音：50dB
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| 尾氣處理系統 | 雙級尾氣處理氣體，前級做一個液封安全瓶，后期為NaOH溶劑吸收 瓶。瓶體為304不銹鋼材質，內噴四氟。 |