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奮進2023|凡是過往皆為序章:貝意克設備祝您新年快樂
?二維材料,再發Science!
我與貝意克的故事---人物專訪
貝意克(中國.肥西)基地搬遷入駐
隨著肥西基地正式投入使用,貝意克進入了肥西.安巢“兩翼齊飛”的全新發展階段。企業的生產研發能力將得以全面提升,為提升企業核心競爭力,實現企業高質量發展打下了堅實的基礎!
------- 實驗室預約 --------
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產品描述
產品參數
設備簡介:
該設備為我司研發用于材料連續生長的專用設備,此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長爐,它由高溫生長腔體,質量流量計氣路系統,真空機組,RF射頻電源模塊,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動化控制系統組成,兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放卷的密封裝置),收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點。
1.加熱系統
最高溫度 |
1200℃ |
使用溫度 |
≤1100℃ |
爐管尺寸 |
Φ150mm(爐管直徑可根據實際需要定制。) |
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7”工控電腦,內置PLC控制程序。 |
加熱長度 |
200+200+200mm |
加熱原件 |
電阻絲 |
供電電源 |
單相,220V,50Hz |
2、PE系統
功率輸出范圍 |
0W~1000W |
最大反射功率 |
200W |
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 |
≤5W |
諧波分量 |
≤-50dbc |
供電電壓 |
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機效率 |
>=70% |
功率因素 |
>=90% |
冷卻方式 |
強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統
連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程(N2) |
200sccm,500sccm、1000sccm(可根據用戶要求定制) |
準確度 |
±1.5%F.S |
線性 |
±1%F.S |
重復精度 |
±0.2%F.S |
響應時間 |
氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
工作壓差范圍 |
0.1~0.5 MPa |
最大壓力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
顯示 |
4位數字顯示 |
工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
壓力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 |
Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
4、低真空機組
空氣相對濕度 |
≤85% |
工作環境 |
5℃~40℃ |
工作電電壓 |
380V |
抽氣速率 |
32m³/h |
極限真空 |
5X10-1Pa(空載冷態) |
工作壓力范圍 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
進氣口口徑 |
KF40 |
排氣口口徑 |
KF40 |
連接方式 |
采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連 |
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