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奮進2023｜凡是過往皆為序章：貝意克設備祝您新年快樂
?二維材料，再發Science！
我與貝意克的故事---人物專訪
貝意克（中國.肥西）基地搬遷入駐
隨著肥西基地正式投入使用，貝意克進入了肥西.安巢“兩翼齊飛”的全新發展階段。企業的生產研發能力將得以全面提升，為提升企業核心競爭力，實現企業高質量發展打下了堅實的基礎！
------- 實驗室預約 --------
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產品描述
產品參數
設備簡介：
該設備為我司研發用于材料連續生長的專用設備，此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長爐，它由高溫生長腔體，質量流量計氣路系統，真空機組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放卷的密封裝置），收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點。
1.加熱系統
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最高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
≤1100℃ |
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爐管尺寸 |
Φ150mm（爐管直徑可根據實際需要定制。） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。 |
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加熱長度 |
200+200+200mm |
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加熱原件 |
電阻絲 |
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供電電源 |
單相，220V，50Hz |
2、PE系統
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功率輸出范圍 |
0W~1000W |
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最大反射功率 |
200W |
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射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率穩定度 |
≤5W |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統
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連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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標準量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm（可根據用戶要求定制） |
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準確度 |
±1.5%F.S |
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線性 |
±1%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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最大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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顯示 |
4位數字顯示 |
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工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
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壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止閥 |
Φ6 |
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內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
4、低真空機組
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空氣相對濕度 |
≤85% |
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工作環境 |
5℃～40℃ |
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工作電電壓 |
380V |
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抽氣速率 |
32m³/h |
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極限真空 |
5X10-1Pa（空載冷態） |
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工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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進氣口口徑 |
KF40 |
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排氣口口徑 |
KF40 |
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連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
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