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隨著肥西基地正式投入使用，貝意克進入了肥西.安巢“兩翼齊飛”的全新發展階段。企業的生產研發能力將得以全面提升，為提升企業核心競爭力，實現企業高質量發展打下了堅實的基礎！
------- 實驗室預約 --------
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設備簡介
我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。該款設備是全自動Plasma增強CVD系統（PECVD），系統可以實現連續滑動溫區，連續可控制溫度及Plasma強度。PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：
1、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。
2、通過反應氣態放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點，工藝流程簡單
一、前端預熱器
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使用溫度 |
400℃ |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序，可將溫控系統、滑軌爐滑動（時間和距離）設定為程序控制。 |
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加熱長度 |
100mm |
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加熱原件 |
電阻絲 |
二、加熱爐
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最高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
≤1100℃ |
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爐膛有效尺寸 |
Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實際需要定制。） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。 |
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加熱長度 |
440mm |
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恒溫長度 |
200mm |
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加熱原件 |
電阻絲 |
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供電電源 |
單相，220V，50Hz |
三、PE系統
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功率輸出范圍 |
0W~500W |
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最大反射功率 |
100W |
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射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率穩定度 |
≤5W |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
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功率輸出范圍 |
0W~500W |
|
最大反射功率 |
100W |
|
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
|
功率穩定度 |
≤5W |
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
|
供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
|
整機效率 |
>=70% |
|
功率因素 |
>=90% |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
四、三路質子流量控制系統
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連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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標準量程（N2) |
50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶要求定制） |
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準確度 |
±1.5%F.S |
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線性 |
±1%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間 |
氣特性：1～4 sec，電特性：10 sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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最大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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顯示 |
4位數字顯示 |
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工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
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壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止閥 |
Φ6 |
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內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
五、低真空
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空氣相對濕度 |
≤85% |
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工作環境 |
5℃～40℃ |
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工作電電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽氣速率 |
10m³/h |
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極限真空 |
5X10-1Pa |
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工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐壓值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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進氣口口徑 |
KF25 |
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排氣口口徑 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |